Mô tả sản phẩm
Lò khuếch tán oxy hóa là một thiết bị xử lý chính để sản xuất các tế bào PV. Nó trộn và khuếch tán một lượng boron, phốt pho và các yếu tố khác trên wafer silicon ở nhiệt độ cao để chuẩn bị các mối nối PN và tạo ra các mạch tích hợp từ nó. Nó cũng có thể được sử dụng để chuẩn bị phim SiOx trên bề mặt của wafer silicon để bảo vệ tấm wafer.
Người ta thường sử dụng các cặp nhiệt điện đo cả phần bên trong và bên ngoài của lò để kiểm soát nhiệt độ bên trong của lò khuếch tán có thể thực hiện quá trình oxy hóa. Mỗi vùng nhiệt độ được chỉ định có cặp nhiệt điện bên ngoài và bên trong để đảm bảo kết quả đo là đáng tin cậy. Các cặp nhiệt điện bên trong được sử dụng để đo nhiệt độ wafer, nó thường có 3 ~ 9 điểm đo, biểu thị chính xác nhiệt độ wafer. Các cặp nhiệt điện bên ngoài được sử dụng để cảm nhận bề mặt bên ngoài của ống lò, mỗi cặp thường chỉ có một cặp dây, để đưa ra một phép đo gián tiếp của lò. Thông thường, nhiệt độ của quá trình oxy hóa thấp hơn quá trình khuếch tán, do đó, cặp nhiệt điện BF đa điểm chính loại K và N có thể được triển khai.
|
Thông số kỹ thuật |
Đa điểm chính BF cặp nhiệt điện |
|
Bên trong |
|
|
Kiểu |
K,N |
|
Đường kính dây hoặc MIMS |
φ2~4 |
|
Temp làm việc (bằng cấp) |
0~950 |
|
Độ chính xác (độ) |
± 1,5 hoặc 0. 4%· t |
|
Chiều dài ống bảo vệ (mm) |
Ít hơn hoặc bằng 4000 |
|
Đường kính ống bảo vệ (mm) |
φ14~22 |
|
Vật liệu ống bảo vệ |
310 hoặc 321 |
|
Cấu trúc kết thúc nóng |
Cách nhiệt |
|
Số điểm |
3 ~ 9 điểm |
|
Chấm dứt |
Đầu nối nhỏ |
|
Dây bồi thường |
Kx (nx) {{0}} × 0,5fpf |
|
Đặc điểm cấu trúc |
Dễ dàng tháo rời, T/C cho bất kỳ điểm nào có thể được gỡ bỏ nếu cần |
Chi tiết sản phẩm



Khách hàng của chúng tôi

Hiểu biết sâu sắc về công ty của chúng tôi








Hiểu biết sâu sắc về sản xuất của chúng tôi

Hàn thủ công

Hàn tự động

Thử nghiệm cách nhiệt

Đánh dấu laser

Quản lý kho

Cặp nhiệt điện lắp ráp

Phát hiện rò rỉ chân không

Đánh bóng bề mặt
Chứng chỉ chất lượng








Chú phổ biến: Cặp nhiệt điện đa nhân chính, các nhà sản xuất cặp nhiệt đới chính của Trung Quốc, nhà máy sản xuất


